激光干涉儀是利用激光作為長(zhǎng)度基準(zhǔn)，對(duì)數(shù)控設(shè)備的位置精度、幾何精度進(jìn)行測(cè)量的儀器。儀器可配合各種折射鏡、反射鏡等來(lái)作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測(cè)量工作，并可作為精密工具機(jī)或測(cè)量?jī)x器的校正工作。

　　

　　干涉儀具有有線性測(cè)量鏡組、角度測(cè)量鏡組、平面度測(cè)量組件、直線度測(cè)量組件、垂直度測(cè)量鏡組、激光器準(zhǔn)直輔助鏡等等，實(shí)際使用中，有些不同功能的鏡組也可以相互組合使用，以滿足測(cè)量需要。

　　

　　比如角度測(cè)量鏡組中的反射鏡也可以替換線性測(cè)量鏡組中的反射鏡;激光器準(zhǔn)直輔助鏡的使用可以減少準(zhǔn)直調(diào)整的時(shí)間。同時(shí)，儀器各個(gè)測(cè)量鏡組也可以在別的測(cè)量工作中使用，常見(jiàn)的利用分光鏡或者光學(xué)直角器，達(dá)到改變光路，方便測(cè)量的目的。

　　

　　激光干涉儀在實(shí)際使用中，需要確認(rèn)其在各個(gè)測(cè)量應(yīng)用中能夠達(dá)到的真實(shí)精度水平以確保測(cè)量數(shù)據(jù)準(zhǔn)確可靠。

　　

　　干涉儀的測(cè)量讀數(shù)終均與激光波長(zhǎng)有關(guān)，因此激光器頻率的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性是干涉儀測(cè)量精度的保障。此外，儀器的環(huán)境條件補(bǔ)償系統(tǒng)(壓力、溫濕度傳感器)的讀數(shù)準(zhǔn)確性對(duì)Z終的測(cè)量精度有著重要的影響。

　　

　　總結(jié)起來(lái)，影響激光干涉儀測(cè)量精度的因素包括：

　　

　　1、激光器頻率(波長(zhǎng))及頻率穩(wěn)定性;

　　

　　2、測(cè)量讀數(shù)軟件系統(tǒng)帶來(lái)的誤差;

　　

　　3、反射鏡、角錐棱角誤差;

　　

　　4、溫濕度、壓力傳感器誤差。

　　

　　當(dāng)然，在具體測(cè)量任務(wù)中的測(cè)量精度還與測(cè)量人員、現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境條件等因素有關(guān)。